近日，2026年度江苏省“三首两新”认定技术产品名单正式公示，无锡高新区4家企业自主研发的重大装备成功入选省首台（套）重大装备清单，入选数量位居全市第一。

　　截至目前，我区累计获评江苏省首台（套）重大装备达52项，认定总量持续稳居全市首位，不断筑牢智能装备产业发展底座，巩固产业领跑优势。

　　本次上榜的“锡高新造”重大装备，覆盖新能源汽车、智能检测、集成电路、新材料四大领域，充分展现无锡高新区在智能装备国产化、自主化赛道上强劲的创新硬实力。

　　先导智能

　　锂离子动力电池在线CT检测设备PXG1

　　无锡先导智能装备股份有限公司作为全球锂电智能制造装备龙头、新能源整体解决方案领军企业，持续攻坚锂电检测核心装备，助力行业向着智能化、高精度方向迭代升级。

　　本次入选的锂离子动力电池在线CT检测设备PXG1，是全球首款实现规模化量产的锂电电芯专用高速在线工业CT设备，重新定义锂电行业质检装备技术标杆。设备搭载自主研发三维结构扫描技术与AI模型重建算法，打通电芯内部多层视觉检测盲区，检测分辨率与精度较传统设备实现翻倍提升，突破行业质检技术瓶颈。配套先导智能LEAD-PAI深度学习视觉检测云端平台，搭建起全生产流程高安全等级的智能质检体系，可精准识别动力电池内部各类安全隐患，从装备端夯实新能源汽车电池安全防线，为全球新能源锂电产业高质量发展提供坚实装备支撑。

　　日联科技

　　AX9500近纳米级微焦点X射线3D智能工业检测装备

　　日联科技集团股份有限公司是我区高端检测装备领域重点骨干企业，深耕精密无损检测装备研发制造，综合技术实力稳居国内行业细分领域第一。

　　本次上榜的AX9500近纳米级微焦点X射线3D智能工业检测装备，为企业独立研发并完成多次迭代的旗舰智能检测产品。设备融合自研开放式微焦点射线源、三维断层扫描、AI智能缺陷识别系统，核心技术实现完全自主可控。面向高端精密半导体检测场景，设备搭载自研160kV微聚焦X射线源，最高支持2000倍超高倍率放大，可识别晶圆级、先进封装场景下近纳米级微观缺陷。依托高精度三维无损扫描与断层成像，精准检出晶圆凸块桥接、芯片冷焊、MEMS制造空洞等隐蔽疑难缺陷，破解半导体先进制造精密检测难题。目前企业微焦点射线源已完成90kV-180kV全电压段国产化突破，实现全球规模化应用，补齐国内高端半导体无损检测成套装备短板。

　　微导纳米

　　iTronix®MTP等离子体化学气相沉积装备

　　江苏微导纳米科技股份有限公司在半导体领域是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备（ALD）应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩模化学气相沉积设备（CVD）国产厂商，也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。

　　本次入选的iTronix®MTP等离子体化学气相沉积装备是制备PECVD高温非晶碳硬掩模，实现芯片关键工艺环节的核心设备。目前国内在高温非晶碳硬掩模沉积工艺方面，存在设备与工艺瓶颈，薄膜均匀性、稳定性难以满足高端制程的需求。微导纳米自主研制了面向逻辑及存储芯片的iTronix系列等离子体化学气相沉积系统，兼容300mm/200mm晶圆的生产，突破非晶碳硬掩模等高温薄膜工艺。设备通过精确控制加热盘的温度，提高薄膜均匀性、稳定性，制备出来的薄膜，蚀刻选择比满足工艺延展性要求，设备稳定性达到大规模生产条件，为客户提供成熟稳定的硬件与工艺全套解决方案。

　　菲沃泰

　　FTCX1000多功能复合真空镀膜设备

　　江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司是国内少有的实现设备材料工艺全链条自研自产的纳米薄膜龙头企业，专注高端真空镀膜装备与工艺创新，持续引领行业技术变革。

　　本次认定的FTCX1000多功能复合真空镀膜设备，创新集成PECVD与CVD双重工艺，实现一腔多膜复合制备，打破传统镀膜设备工艺单一的局限。设备配备全自动精准连续进料系统，叠加在线膜厚实时监测、智能异常预警一体化管控，显著提升多层复合膜成膜一致性与工艺稳定性。依托该设备量产的耐压防腐复合功能膜，革新传统单一防护方案，可实现多层化、高性能、定制化高端防护膜的大规模生产，广泛应用于消费电子、汽车电子、新能源等高端领域。企业也从单一PECVD工艺，拓展形成CVD、ALD、PVD多工艺协同技术体系，转型为综合型纳米薄膜解决方案服务商，不断拓宽产业发展新边界。

　　首台（套）重大装备是突破产业链关键堵点、发展新质生产力的重要载体。无锡高新区将首台（套）培育认定作为做强“3+2+X”现代产业集群、推进强链补链的重要抓手，打造覆盖研发攻关、政策辅导、申报培育、示范应用的全链条服务体系。在优质产业创新生态的滋养下，全区半导体装备、智能检测装备、新能源装备三大特色装备集群加速崛起，一大批细分赛道单项冠军、专精特新企业竞相成长，国产替代、自主创新成果持续落地。

　　此次4家企业装备集中入选省首台（套）重大装备认定清单，既是我区多年深耕智能装备自主攻关的丰硕成果，也代表区域产业创新从单点技术突破，迈向产业链系统性创新能力整体跃升，为制造业高端化转型贡献锡高新样板。

　　下一步，无锡高新区将牢牢把握发展新质生产力主线，聚焦新能源汽车、智能检测装备、集成电路、新材料等战略性新兴产业链，持续优化首台（套）全周期培育机制；加大关键核心装备揭榜挂帅攻关力度，布局装备验证公共平台，常态化开展新技术新产品供需对接，引导更多企业扎根细分赛道，勇闯装备创新“无人区”；聚力做大做强智能装备产业集群，持续培育更多具备国际竞争力的自主化重大装备，加快建设自主可控、优势凸显的先进制造业高地，以硬核装备创新赋能区域高质量发展。

来源：无锡高新区在线