发布时间：2025-10-15 10:57 来源：新吴区人民政府 选择阅读字号：[ 大 中 小 ]
吉佳蓝中国总部项目启用半年多即实现出货，跑出了项目建设的加速度！
10月13日，吉佳蓝自主研发的首台8英寸电感耦合等离子深硅刻蚀机NeoGEN -MAGMA200D，在经过装配、检验和调试及场内工艺验收后，成功发货，这标志着公司在高端半导体设备制造领域迈出了坚实一步。
现场看到，这台8英寸深硅刻蚀设备装入专用木箱后被放置到卡车上，即将出发把产品发给客户。据介绍，这台深硅刻蚀设备具有高深宽比、均匀性优秀、刻蚀速率快、刻蚀角度满足度高、侧壁粗超度优化等特点。
吉佳蓝公司成立于2000年，是在韩国上市的半导体设备制造企业，专注于半导体设备的生产研发。公司已经深耕半导体产业25年以上，积累了国内外尖端Fab专用的设备以及工艺量产经验，主要产品包括等离子干法刻蚀机、纳米压印光刻设备等。
吉佳蓝中国总部副总经理王琦介绍：“公司生产4-12英寸干法刻蚀设备，以及纳米压印设备，具备20纳米工艺能力，在中国市场累计销售半导体刻蚀设备已超800余台。为了贴近客户，实现本地化服务，吉佳蓝决定到中国建设半导体刻蚀设备研发制造基地，为高度化的半导体工程提供量身定做的方案，为尖端半导体产业提供新的可能性。”
今年3月，吉佳蓝中国总部在无锡高新区新港集成电路装备零部件产业园启用。吉佳蓝中国总部建设有100级无尘室、7条Demo产品验证线，将承接吉佳蓝中国半导体设备业务并向全球供货，助推吉佳蓝集团在全球半导体刻蚀设备领域抢占更大市场、把握更大主动。
据了解，吉佳蓝在无锡考察了十多个产业园，最终选择落户位于无锡高新区的新港产业园，因为这里的物理空间非常符合研发生产之需，而且区域内产业链齐全，企业所需的测试等配套服务在无锡高新区范围内就可以完成。另外，招商人员不仅是专业招商“多面手”，对企业的服务也很贴心，最终让公司选择落户。公司在短时间内实现发货，与园区良好的营商环境密不可分。
来源：无锡日报、无锡高新区在线
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